美国空气轴承公司“非触摸式多孔空气轴承”获专利
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中国轴承网 发布时间:2019-05-02 访问:2990次
作为世界上最大的多孔介质空气轴承产物独立制造商；New Way空气轴承公司日前宣告其非触摸式多孔空气轴承和镜片修平设备现已取得美国专利号为7,908,885-B2 的授权.
镜片厚度的改变差错已成为更高一级光刻解决计划进行更明晰展现的限制性要素；因此；这种新方法能够下降东西的需求并供给更高的光刻计划.
该技能还能够供给：
外表加工前即可进行粘性铲除
融化中；将工业废气或微粒阻隔
镜片修平与粘结层预先涂层中的气温、湿度以及氧气水平亲近相关联.
New Way空气轴承公司运用其空气轴承技能将气压均匀分布于不计其数个空气管外表；以此承载上千公斤的载荷.一起；真空孔和沟槽组件可供给几十公斤的气压；这足以将玻璃修平来反抗气体膜；并将之置于安全部位.这样；跟着非触摸式精细区构成；最为平坦的镜片外表也加工完结.
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